徠卡顯微鏡的分辨率:能觀察100埃左右的細節(jié)。景深長、視場大,圖象特別富有立體感,看上去很真實。放大倍數(shù)的范圍寬并能很方便地調(diào)節(jié)。圖像在高倍數(shù)下也很清晰。樣品制備簡單,一般導(dǎo)電的固體樣品可以直接觀察,對非導(dǎo)電的如生物樣品,也只要把它表面在真空中蒸涂一層導(dǎo)電金屬膜,或經(jīng)過脫水處理后即可觀察。
徠卡顯微鏡由于電子探針打在樣品上,不僅激發(fā)出二次電子和背散射電子,還會激發(fā)出x光、陰極熒光等,所以
徠卡顯微鏡配合x光微區(qū)分析器及電子衍射附件等,可以觀察樣品表面的同時,逐點分析其化學成分及晶體結(jié)構(gòu),成為一種高速的綜合分析工具。所以,
徠卡顯微鏡的應(yīng)用范周遠運超出了一般的顯微鏡,是現(xiàn)代工農(nóng)業(yè)及科學技術(shù)發(fā)展中的一種重要的工具。
徠卡顯微鏡精細的微型電路中的線條邊緣清晰度,已經(jīng)超出光學顯微鏡的分辨能力。檢查制造工藝流程和發(fā)展新工藝具有重要的意義。